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图说光栅式测微仪的应用

发布时间:2022-05-10

浏览次数:3

光栅式测微仪也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪,是以光栅副作为测量元件,将线位移量转换为光电信号,经电路处理并以数字显示位移量的一种长度精密测量仪器(摘自JJF 1682-2017)。

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光栅式测微仪是一种接触式精密传感器,今天小编以半导体制造工程、汽车制造工程为例,“图说”光栅式测微仪的测量应用和测量原理。



应用之

半导体制造工程

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半导体制造工程示意图

点击查看大图


01


辊缝检测


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02


基板厚度的检测


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03


芯片平行度的检测


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04


FPD基板的多点检测


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05


测量压接端子的铆合高度


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06


复印机部品的平行度检测


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应用之

汽车制造工程

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汽车生产线示意图/点击查看大图



01


汽车凸轮轴的位移量测量


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图片

02


汽车刹车盘的多点测量


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03


平面度的测量


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图片

04


高度的测量


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05


跳动的测量


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06


加工刀具长度的测量


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